记者从今天的“超分辨光刻装备研制”项目验收会上获悉：由中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目——超分辨纳米光刻装备，走出了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过了国外高分辨光刻装备的知识产权壁垒和技术封锁，实现了源头创新。该装备是目前世界上用紫外光实现光刻分辨力最高的超分辨纳米光刻装备，采用365nm（纳米）的波长光源实现了22nm的光刻分辨率。

　　“光刻分辨力，是衡量光刻机性能最重要的指标，分辨力越高，所能做的器件集成度越高凯时娱乐优惠活动，器件性能也就越好。”项目副总设计师胡松说凯时娱乐优惠活动，微纳光刻装备是现代先进制造的重要方向，是信息、材料等诸多领域的核心技术凯时娱乐优惠活动凯时娱乐优惠活动，其水平高低也是体现一个国家综合实力的标志凯时娱乐优惠活动。然而凯时娱乐优惠活动，由于历史原因，我国在此领域长期落后于并受制于西方发达国家；与此同时，光学超材料等诸多颠覆性技术的出现凯时娱乐优惠活动凯时娱乐优惠活动，也迫切需要发展专用的微纳制造工具。

　　发展基于新原理的光刻技术和装备凯时娱乐优惠活动，提升我国纳米制造技术和装备自主创新能力凯时娱乐优惠活动。2012年，光电所承担了国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目。经过近7年艰苦攻关凯时娱乐优惠活动，在无国外成熟经验可借鉴的情况下，项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量等关键技术，完成了国际上首台用紫外光实现光刻分辨力最高的超分辨光刻装备的研制。在此基础上，项目组结合自主开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺，将光刻工艺延伸到了10nm以下，以便生产10nm以下的功能器件。目前项目已获得了国内授权发明专利47项，国外发明专利4项，拥有完全自主知识产权凯时娱乐优惠活动。

　　据了解凯时娱乐优惠活动，利用该装备目前光电所已为航天科技集团第八研究院凯时娱乐优惠活动、中科院上海微系统与信息技术研究所、电子科技大学等多家单位制备了一系列纳米功能器件，比如大口径薄膜镜凯时娱乐优惠活动凯时娱乐优惠活动、超导纳米线单光子探测器凯时娱乐优惠活动、生化传感芯片、超表面成像器件等。验收专家组表示，这些器件的制备验证了该装备的加工能力，现在装备已达到实用化水平。

　　胡松表示，超分辨纳米光刻装备的成功研制凯时娱乐优惠活动，打破了传统光刻装备受光源波长等限制的传统路线格局，形成了一条全新的纳米光刻装备研制路线，这为今后超材料/超表面凯时娱乐优惠活动、第三代光学器件、广义芯片等变革性战略领域的跨越式发展提供了制造工具凯时娱乐优惠活动。